作者:标准资料网 时间:2024-05-19 14:10:50   浏览:9137   来源:标准资料网

【英文标准名称】:StandardTestMethodforEvaluatingGateOxideIntegritybyVoltageRampTechnique
【原文标准名称】:用电压斜波技术评价栅氧化层整体性的标准试验方法
【标准号】:ASTMF1771-1997(2002)
【标准状态】:作废
【国别】:
【发布日期】:1997
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(US-ASTM)
【起草单位】:F01.06
【标准类型】:(TestMethod)
【标准水平】:()
【中文主题词】:电流密度;缺陷密度;电场强度;外击穿;内击穿;氧化击穿
【英文主题词】:currentdensity;defectdensity;electricfieldstrength;extrinsicbreakdown;intrinsicbreakdown;oxidebreakdown
【摘要】:ThisstandardwastransferredtoSEMI(www.semi.org)May20031.1Thetechniquesoutlinedinthisstandardareforthepurposeofstandardizingtheprocedureofmeasurement,analysis,andreportingofoxideintegritydatabetweeninterestedparti
【中国标准分类号】:L40
【国际标准分类号】:29_045
【页数】:8P.;A4
【正文语种】: